
rec******** さん
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商品説明
★天井部にエコーBOOKの印がありますが(2枚目の写真)、それ以外は使用感ほとんど無く良好です。
★本書は2012 年に刊行された『はじめての半導体ドライエッチング技術』に最新情報を大幅加筆したものです。今回の改訂では新しい技術であるアトッミクレイヤーエッチング、3D NAND 用高アスペクト比ホールエッチング、SAQPを新たに追加し、既存の原稿も技術の進歩に合わせて一部改訂しました。
★技術評論社 2023年7月初版第2刷 定価2728円(税込)...
★本書は2012 年に刊行された『はじめての半導体ドライエッチング技術』に最新情報を大幅加筆したものです。今回の改訂では新しい技術であるアトッミクレイヤーエッチング、3D NAND 用高アスペクト比ホールエッチング、SAQPを新たに追加し、既存の原稿も技術の進歩に合わせて一部改訂しました。
★技術評論社 2023年7月初版第2刷 定価2728円(税込)...






